| 产品型号 | KTZ-D2-F3B50 |
| 产品名称 | 石英舟装卸片机（在线式一拖二） |
| 生产工艺 | 在线式，扩散（退火）工艺，石英舟装卸片机 |
| 设备功能 |
将经过工艺处理后的石英舟内的硅片自动化取出装篮， 并将没经过工艺处理的硅片自动化从花篮中取出装入石英舟 |
| 适用硅片 | |
| 单晶/多晶 | 单晶多晶兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工装 | |
| 石英舟工装 | 可定制 |
| 花篮工装 | 4.76×100槽或4.76×50槽，其他也可根据石英舟定制。 |
| 设备运行能力 | |
| 实际运行产能（净产能） | ≥8500片/小时 |
| 正常运行时间（up time） | ≥98% |
| 平均故障时间（MTBF） | MTBF≤500小时 |
| 平均故障修复时间（MTTR） | MTTR≥1小时 |
| 碎片率 | ≤0.03% ，A片（不含炉内碎、不含本身隐裂、线痕等缺陷片） |
| 动力要求 | |
| 电源 | AC220V，50HZ |
| 功率 | 8KW |
| 压缩空气 | 0.6MPA，主气路管道直径≥20mm，连接气管直径≥12mm |
| 环境 | |
| 温度/湿度 | 0-35℃，40%-60% |
| 洁净度 | 符合十万级洁净区规范要求 |
| 噪音 | ≤60db |
| 设备结构 | |
| 整机重量 | 6500KG |
| 外形尺寸（mm） | 长×宽×高（4360mm×4600mm×2400mm） |
| 设备操作方位 | 面向龙门架，触摸屏在左侧是左手机，触摸屏在右侧是右手机 |
| 花篮工位 | 四工位 |
| 石英舟工位 | 双工位 |
| 花篮装卸方式 |
人工装卸：人工装卸时，手工直接将花篮放置于花篮工作台。 花篮进出动作可同时进行。 |
| 石英舟装卸方式 | 机械手自动装卸 |
苏公网安备 32021402000985号